| Номер документа в системі: | 245805 |
| Автор: | Ягудин Г. Х., Шибаев А. А., Пономаренко А. Н. |
| Назва документа: | Бесконтактные методы неразрушающего контроля электрофизических параметров полупроводниковых структур |
| Видавництво: | "ЦНИИ ЭЛЕКТРОНИКА" |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1973 |
| УДК | 620.179+537.311.322 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 620.17 |
| Кількість сторінок | 53 с. |