| Номер документа в системі: | 24639 |
| Автор: | Кошман А. Р. |
| Назва документа: | Дослідження процесів впливу автомарного водню на електричну міцність кремнієвих p - n - переходів на межу розподілу кремній - диоксид кремнію |
| Видавництво: | ЗДУ |
| Місто видання: | Запоріжжя |
| Рік видання: | 1998 |
| УДК | 621.315.592:53 |
| Мова документу | Українська |
| Шифр документу | 621.315 |
| Кількість сторінок | 20 с. |