| Номер документа в системі: | 247015 |
| Автор: | Новиков В. В., Пономарев А. Н., Янюк В. И., Суслов Г. П. |
| Назва документа: | Радиационная микролитография в процессах изготовления изделий функциональной электроники |
| Видавництво: | ЛДНТП |
| Місто видання: | Ленинград |
| Рік видання: | 1988 |
| УДК | 621.3.049.77.002.776+621.38.002.776 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 29 с. |