| Номер документа в системі: | 24720 |
| Автор: | Недоступ В. М. |
| Назва документа: | Вакуумна металізація в мікроелектроніці |
| Видавництво: | Знання |
| Місто видання: | Київ |
| Рік видання: | 1973 |
| УДК | 621.3.04977.002:621.793 |
| Мова документу | Українська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 48 с. |