Номер документа в системі: | 250563 |
Назва документа: | Разработка и опыт эксплуатации комплексов оборудования для изготовления интегральных схем |
Видавництво: | ЦНИИ"Электроника" |
Місто видання: | Москва |
Рік видання: | 1976 |
УДК | 621.3.049.77.002.5 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.3 |
Кількість сторінок | 40 с. |