Номер документа в системі: | 252339 |
Назва документа: | Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Физическое распыление одноэлементных твердых тел |
Видавництво: | Мир |
Місто видання: | Москва |
Рік видання: | 1984 |
УДК | 539.2:539.1.04+533.924 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 539.2 |
Кількість сторінок | 336 с. |