| Номер документа в системі: | 255941 |
| Назва документа: | Электромагнитные и механические свойства структур, применяемых в микроэлектронике |
| Видавництво: | МИЭТ |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1983 |
| УДК | 621.3.049.77.002.3(06) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 135 с. |