| Номер документа в системі: | 256437 |
| Автор: | Резвый Р. Р. |
| Назва документа: | Эллипсометрия в микроэлектронике |
| Видавництво: | Радио и связь |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1983 |
| УДК | 621.3.049.77.002:531.5 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 120 с. |