| Номер документа в системі: | 256596 |
| Назва документа: | Электронная литография и ее применение в микроэлектронике |
| Видавництво: | [б. и.] |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1976 |
| УДК | 621.382.002:776(06)+621.3.049.77(06) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.382 |
| Кількість сторінок | 53 с. |