| Номер документа в системі: | 257847 |
| Автор: | Романенко В. И. |
| Назва документа: | Управление составом полупроводниковых слоев |
| Видавництво: | Металлургия |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1978 |
| УДК | 621.315.592.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315 |
| Кількість сторінок | 192 с. |