| Номер документа в системі: | 25818 |
| Автор: | Абдуллаев Г. М., Джафаров Т. Д. |
| Назва документа: | Атомная диффузия в полупроводниковых структурах |
| Видавництво: | Атомиздат |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1980 |
| УДК | 537.311.322 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 537 |
| Кількість сторінок | 280 с. |