| Номер документа в системі: | 258488 |
| Назва документа: | Рост и легирование полупроводниковых кристаллов и пленок |
| Видавництво: | Наука |
| Місто видання: | Новосибирск |
| Рік видання: | 1977 |
| УДК | 621.315.592(06)+539.23(06)+548.52(06) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315 |
| Кількість сторінок | 328 с. |