Номер документа в системі: | 258489 |
Назва документа: | Рост и легирование полупроводниковых кристаллов и пленок |
Видавництво: | Наука |
Місто видання: | Новосибирск |
Рік видання: | 1977 |
УДК | 621.315.592(06)+539.23(06)+548.52(06) |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.315 |
Кількість сторінок | 358 с. |