| Номер документа в системі: | 258519 |
| Назва документа: | Рост полупроводниковых кристаллов и пленок |
| Видавництво: | Наука |
| Місто видання: | Новосибирск |
| Рік видання: | 1984 |
| УДК | 539.23+621.315.592.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 539.2 |
| Кількість сторінок | 158 с. |