Номер документа в системі: | 258596 |
Назва документа: | Рост полупроводниковых кристаллов и пленок |
Видавництво: | Наука |
Місто видання: | Новосибирск |
Рік видання: | 1984 |
УДК | 539.23+621.315.592.002 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 539.2 |
Кількість сторінок | 152 с. |