| Номер документа в системі: | 260157 |
| Назва документа: | Экспериментальное и теоретическое исследование физических и химических процессов при плазмохимической обработке поверхности в процесе производства интегральных схем |
| Видавництво: | БГУ |
| Місто видання: | Минск |
| Рік видання: | 1979 |
| УДК | 621.3.049.77.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 112 с. |