| Номер документа в системі: | 260923 |
| Автор: | Шуваев Г. В., Чигринский О. М., Бочкин О. И. |
| Назва документа: | Разделение пластин полупроводниковых материалов на кристаллы |
| Видавництво: | ЦНИИ "Электроника" |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1975 |
| УДК | 621.315.592:54 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315 |
| Кількість сторінок | 41 с. |