| Номер документа в системі: | 265068 |
| Автор: | Сейдман Л. А. |
| Назва документа: | Низкотемпературное нанесение пленок, нитридов кремния и алюминия реактивным распылением в вакууме |
| Видавництво: | ЦНИИЭлектроника |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1990 |
| УДК | 539.216.2:546.98'171.1 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 539.2(ои) |
| Кількість сторінок | 52 с. |