Номер документа в системі: | 265079 |
Автор: | Сейдман Л. А. |
Назва документа: | Реактивное нанесение в вакууме слоев нитрида титана и применение их в системах контактной металлизации полупроводниковых приборов (по данным зарубеж. печати и отеч. печати за 1975-1987 гг. |
Видавництво: | ЦНИИЭлектроника |
Місто видання: | Москва |
Рік видання: | 1988 |
УДК | 621.382.13.002+539.216.22 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.382(ои) |
Кількість сторінок | 58 с. |