| Номер документа в системі: | 269126 |
| Автор: | Смородина Т. А., Шефталь Н. Н., Цуранов А. П. |
| Назва документа: | Вхождение примесных центров в кристаллический слой полупроводника. Процессы образования монокристаллических слоев для микроэлектроники |
| Видавництво: | Наука |
| Місто видання: | Ленинград |
| Рік видання: | 1985 |
| УДК | 621.315.592.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315 |
| Кількість сторінок | 173 с. |