| Номер документа в системі: | 269462 |
| Назва документа: | Совершенствование технологии производства полупроводниковых приборов и материалов |
| Видавництво: | УкрНИИНТИТЭИ |
| Місто видання: | Киев |
| Рік видання: | 1969 |
| УДК | 621.382.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.382 |
| Кількість сторінок | 68 с. |