| Номер документа в системі: | 269619 |
| Назва документа: | Современные диффузионные методы получения кремниевых элементов силовых неуправляемых и управляемых вентилей |
| Видавництво: | ВНИИЭМ |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1966 |
| УДК | 621.314.632:546.28 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.314.6 |
| Кількість сторінок | 26 с. |