Номер документа в системі: | 269788 |
Автор: | Достанко А. П., Зеленков В. А., Ширипов В. Я. |
Назва документа: | Современные технологические процессы в микроэлектронике |
Видавництво: | Минск. радиотех. ин-т |
Місто видання: | Минск |
Рік видання: | 1977 |
УДК | 621.3.049.77.002(075.8) |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.3 |
Кількість сторінок | 40 с. |