Номер документа в системі: | 270998 |
Автор: | Сотников В. С., Будков В. А., Астапов Б. А. |
Назва документа: | Физико-химические основы оптимизации параметров герметизации полимерными материалами в производстве интегральных схем и полупроводниковых приборов |
Видавництво: | ЦНИИ Электроника |
Місто видання: | Москва |
Рік видання: | 1987 |
УДК | 621.3.049.77.002-76+621.382.002-762 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.3(оп) |
Кількість сторінок | 56 с. |