| Номер документа в системі: | 274354 |
| Автор: | Запорізьк. нац. техн. ун-т. Каф. мікро- та наноелектроніки |
| Назва документа: | Методичнi вказівки до практичних занять з дисципліни "Вакуумна та плазмова електроніка" для студентів спеціальності 6.050801 "Мiкро-та наноелектронiка" денної й заочної форм навчання |
| Видавництво: | ЗНТУ |
| Місто видання: | Запоріжжя |
| Рік видання: | 2014 |
| УДК | 621.52(076) |
| Мова документу | Українська |
| Аннотація | №5583е |
| Кількість сторінок | 94 с. |