Номер документа в системі: | 274358 |
Автор: | Запорізьк. нац. техн. ун-т. Каф. мікро- та наноелектроніки |
Назва документа: | Методичні вказівки до лабораторного практикуму з дисципліни "Технологічні основи електроніки. Тонкі плівки" для студентів спеціальності 6.050801 "Мікро- та наноелектроніка" денної й заочної форм навчання |
Видавництво: | ЗНТУ |
Місто видання: | Запоріжжя |
Рік видання: | 2014 |
УДК | 539.216(076) |
Мова документу | Українська |
Шифр документу | 539.2 |
Аннотація | №5590 зам.1487 |
Кількість сторінок | 54 с. |