| Номер документа в системі: | 276130 |
| Автор: | Сысоев В. В. |
| Назва документа: | Автоматическое проектирование линий и комплектов оборудования полупроводникового и микроэлектронного производства |
| Видавництво: | Радио и связь |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1982 |
| УДК | 621.382.002.5.001.2+621.3.049.77.002.5:658.5.011.56 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.382 |
| Кількість сторінок | 119 с. |