| Номер документа в системі: | 276663 |
| Автор: | Матюшин В. М. |
| Назва документа: | Исследование влияния атомов и молекул водорода на электрофизические параметры и структуру полупроводниковых кристаллов |
| УДК | 539.219.3 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | Ч21 |
| Кількість сторінок | С. 143-144. |