Номер документа в системі: | 27999 |
Автор: | Стогний А.И., Ореховская О.И. |
Назва документа: | О формировании объемных элементов микроэлектромеханических систем в полиимиде метидом реактивного ионно - лучевого травления |
Рік видання: | 2000 |
УДК | 53 |
Мова документу | Російська |
Аннотація | Экспериментально решается основная задача получения микроэлектромеханических систем - формирование анизотропного профиля с отвесными боковыми стенками и чистым дном в толстом слое резиста. Показано, что указанная цель достигается путем оптимизации параметров реактивного ионно-лучевого травления слоев полиимида толщиной до 50 ^m. Последнее подтверждается на примере формирования объемных деталей микроэлектродвигателя с использованием травления полиимида пучком ионов кислорода (плотность тока ионного пучка j = 0.5mA/cm2, напряжение экстракции ионов U = 800 V). |
Кількість сторінок | С. 7-13 |