| Номер документа в системі: | 283175 |
| Назва документа: | Технология ионного легирования |
| Видавництво: | Сов. радио |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1974 |
| УДК | 621.382.002+621.315.592.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.382 |
| Кількість сторінок | 160 с. |