Номер документа в системі: | 283682 |
Назва документа: | Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники |
Видавництво: | Высш. школа |
Місто видання: | Москва |
Рік видання: | 1989 |
УДК | 621.382.002(07)+621.3.049.77.002(07) |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.382 |
Кількість сторінок | 222 с. |