| Номер документа в системі: | 283693 |
| Назва документа: | Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники |
| Видавництво: | Высш. школа |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1990 |
| УДК | 621.382.002(07)+621.3.049.77.002(07)+621.382.002:776(075.8) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.382 |
| Кількість сторінок | 129 с. |