| Номер документа в системі: | 284212 |
| Автор: | Чистяков Ю. Д., Гришин В. М., Райнов Ю. П. |
| Назва документа: | Газофазная эпитаксия и диффузия в электрическом поле |
| Видавництво: | ЦНИИ "Электроника" |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1976 |
| УДК | 537.212+539.2 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 537 |
| Кількість сторінок | 40 с. |