| Номер документа в системі: | 284992 |
| Автор: | Титов В. В. |
| Назва документа: | Имплантационное легирование полупроводников |
| Видавництво: | ЦНИИ Электроника |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1974 |
| УДК | 621.315.592.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315 |
| Кількість сторінок | 62 с. |