| Номер документа в системі: | 286388 |
| Автор: | Петров В. В., Крючин А. А., Куницький Ю. А., Рубіш В. М., Лапчук А. С., Костюкевич С. О. |
| Назва документа: | Методи нанолітографії |
| Видавництво: | Наукова думка |
| Місто видання: | Київ |
| Рік видання: | 2015 |
| УДК | 004.085 |
| ISBN | 978-966-00-1467-1 |
| Мова документу | Українська |
| Шифр документу | 004.08 |
| Аннотація | Викладено результати перспективних технологій виготовлення нанороз-мірних структур, а також досліджень авторів зі створення оптичних систем з високою роздільною здатністю та методів формування рельєфних наноструктур. Визначено технології, які можна використовувати при виготовленні носіїв інформації майбутніх поколінь. Визначено вимоги до систем формування нанорозмірних структур на підкладках оптичних і магнітних носіїв інформації. Наведено результати досліджень зі створення фоточутливих матеріалів з високою роздільною здатністю і методів запису інформації на них.
Для наукових та інженерно-технічних співробітників, які займаються проблемами наноелектроніки і технологіями реєстрації інформації.
ЗМІСТ
ПЕРЕДМОВА...З
ПЕРЕЛІК УМОВНИХ ПОЗНАЧЕНЬ.. 5
ВСТУП...7
РОЗДІЛ 1 МОЖЛИВОСТІ ТА ПЕРСПЕКТИВИ РОЗВИТКУ ТЕХНОЛОГІЙ
ФОРМУВАННЯ НАНОРОЗМІРНИХ МАТЕРІАЛІВ І НАНОСТРУКТУР...12
1.1.Перспективи вдосконалення елементної бази інформатики та оптоелектроніки на базі наноматеріалів...12
1.2.Типи нанолітографічних те |
| Кількість сторінок | 263 с. |