| Номер документа в системі: | 286710 |
| Автор: | Гребенкина В. Г., Доброер В. С., Панов Л. И. |
| Назва документа: | Толстопленочная микроэлектроника |
| Видавництво: | Наук. думка |
| Місто видання: | Киев |
| Рік видання: | 1983 |
| УДК | 621.3.049.772.2 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 247 с. |