| Номер документа в системі: | 287110 |
| Автор: | Топфер М. |
| Назва документа: | Микроэлектроника толстых пленок. Технология, конструирование, применение |
| Видавництво: | Мир |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1973 |
| УДК | 621.3.049.774+539.23 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 260 с. |