Номер документа в системі: | 290524 |
Автор: | Матюшин В. М. |
Назва документа: | Исследование воздействия атомов и молекул водорода на электрофизические параметры и структуру полупроводниковых кристаллов |
УДК | 539.219.3 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | Ч21 |
Кількість сторінок | С. 298-300. |