| Номер документа в системі: | 291155 |
| Автор: | Холопов В. В. |
| Назва документа: | Разработка технологических процессов изготовления больших гибридных интегральных схем |
| Видавництво: | КАИ |
| Місто видання: | Казань |
| Рік видання: | 1979 |
| УДК | 621.3.049.776.002(075.8) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 67 с. |