| Номер документа в системі: | 293406 |
| Автор: | Уфимцев В. Б., Лобанов А. А. |
| Назва документа: | Гетерогенные равновесия в технологии полупроводниковых материалов |
| Видавництво: | Металлургия |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1981 |
| УДК | 621.315.592.002(075.8) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315 |
| Кількість сторінок | 215 с. |