| Номер документа в системі: | 293723 |
| Автор: | Запорізьк. нац. техн. ун-т. Каф. мікро- та наноелектроніки |
| Назва документа: | Методичні вказівки до лабораторного практикуму з дисципліни "Вакуумна і плазмова електроніка" для студентів за напрямом підготовки 6.0505801 "Мікро- і наноелектроніка" денної й заочної форм навчання |
| Видавництво: | ЗНТУ |
| Місто видання: | Запоріжжя |
| Рік видання: | 2015 |
| УДК | 621.385(076) |
| Мова документу | Українська |
| Аннотація | №5844е |
| Кількість сторінок | 62 с. |