| Номер документа в системі: | 294071 |
| Назва документа: | Физика, технология и схемотехника СБИС |
| Видавництво: | МИЭТ |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1989 |
| УДК | 621.3.049.771.14(06) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3.049.77 |
| Кількість сторінок | 138 с. |