| Номер документа в системі: | 294517 |
| Автор: | Ермак В. В., Петросянц К. О., Шилин В. А., Яншин А. А. |
| Назва документа: | Физико-топологические модели для автоматизации проектирования полупроводниковіх и вакуумніх єлементов интегральніх схем |
| Видавництво: | Машиностроение |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1980 |
| УДК | 621.3.049.77.001.575(075.4) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 60 с. |