| Номер документа в системі: | 295038 |
| Назва документа: | Физические методы и средства неразрушающего контроля в производстве микроэлектронной аппаратуры и ее компонентов |
| Видавництво: | ЛАП |
| Місто видання: | Ленинград |
| Рік видання: | 1986 |
| УДК | 621.3.049.77.002:658.562:620.179.(06) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 133 с. |