| Номер документа в системі: | 295083 |
| Назва документа: | Физические основы создания и совершенствоавания технологического оборудования в микроэлектронике |
| Видавництво: | МИЭТ |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1981 |
| УДК | 621.3.049.77.002.5(06)+621.382.002(06) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 152 с. |