| Номер документа в системі: | 295705 |
| Автор: | Харченко В. В. |
| Назва документа: | Получение эпитаксильных структур кремния с контролируемым примесным профилем |
| Видавництво: | Фан |
| Місто видання: | Ташкент |
| Рік видання: | 1989 |
| УДК | 621.315.592.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315.592 |
| Кількість сторінок | 167 с. |