| Номер документа в системі: | 297808 |
| Автор: | Филатов Ю. Д., Сидорко В. И., Филатов А. Ю., Ковалев С. В., Ветров А. Г., Сильченко Я. Л., Данильченко М. А. |
| Назва документа: | Полирование монокристалических материалов для оптоэлектронной техники |
| Мова документу | Російська |
| Кількість сторінок | С. 168-176. |