| Аннотація | Посібник (удвох частинах) охоплює практично всі основні розділи вакуумної техніки. Значне місце відведене аналізу фізичних у виш і процесів, на яких базується робота як класичних, так і сучасних вакуумних пристроїв. У другій частині розглядаються сучасні електрофізичні (терні випарні, іонно-гетерні, магніторозрядні) вакуумні насоси, сучасні методи вимірювання вакууму, мас-спектрометричні методи вимірювання парціального тиску газів у складі залишкової атмосфери та методи течешукання. Описані також основні типи вакуумних систем.
Для студентів фізичних та фізико-технічних спеціальностей вищих навчальних закладів.
ЗМІСТ
Передмова...6
Розділ 1 Фізико-хімічні методи одержання вакууму...7
1.1.Загальна характеристика фізико-хімічних методів одержання вакууму...7
1.2.Адсорбційно-дифузійні вакуумні насоси (насоси з нерозпиленим гетером)...11
1.3.Особливості відкачування різних газів та їх сумішей...20
1.4.Сучасні конструкції адсорбційно-дифузійних вакуумних насосів...22
1.5.Особливості відкачування по |