Номер документа в системі: | 329821 |
Автор: | Критская Т. В., Журавлев В. Н. |
Назва документа: | Оптимизация параметров процесса получения монокристаллов кремния из расплава |
УДК | 620.1:53/.54 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 669.2 |
Кількість сторінок | С. 57-59. |