Номер документа в системі: | 33098 |
Автор: | Александров В. К., Биенко О. Н., Ильин В. Н. |
Назва документа: | Оптико-электронные средства размерного контроля технологических микрообъектов |
Видавництво: | Наука и техника |
Місто видання: | Минск |
Рік видання: | 1988 |
УДК | 621.383.004+681.2.082.52 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 681.7 |
Кількість сторінок | 238 с. |